000			01259nam a2200325 a 4500
005			20250930122918.0
008			070608s2006 my a m 000 0 may
039		9	_a200708021747 _bbedah _c200707301741 _dlatihan _y06-08-2007 _zzulkifli
090			_aTK7875.H379 2006 tesis
090			_aTK7875 _b.H379 2006
100	0		_aHasnizah Aris
245	1	0	_aRekabentuk kapasitor boleh laras mems bagi julat 250 fF hingga 1110 fF untuk applikasi RF / _cHasnizah binti Aris
260			_aBangi : _bFakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, _c2006
300			_axxiii, 153 p. : _bill. ; _c30 cm.
502			_aTesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2006
504			_aRujukan : p. [148] - 152
610	2	0	_aUniversiti Kebangsaan Malaysia _xDissertations _962865
650		0	_aDissertations, Academic _zMalaysia _962866
650		0	_aMicroelectromechanical systems _xDesign and construction
650		0	_aMicroelectromechanical system
650		0	_aCapacitors
907			_a.b13943315 _b2021-05-28 _c2019-11-12
942			_c3 _n0 _kTK7875.H379 2006 tesis
914			_avtls003350585
990			_azul
990			_amh
991			_aFakulti Kejuruteraan
998			_at _b2007-08-06 _cm _dx _fmay _gmy _y0 _z.b13943315
999			_c391112 _d391112