000			01158nam a2200301 a 4500
005			20250930120258.0
008			050113s2004 my a m 000 0 may
039		9	_a200502161530 _bbakar _c200501310914 _dlaili _y01-13-2005 _znorehan
090			_aTK7871.15.S55M55 2004 tesis
090			_aTK7871.15
100	0		_aMimiwaty Mohd Noor
245	1	0	_aKajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon / _cMimiwaty bt Mohd Noor
260			_aBangi : _bFakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, _c2004
300			_axv, 161 p. : _bill. ; _c30 cm
502			_aTesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004
504			_aRujukan : p. [147]-150
610	2	0	_aUniversiti Kebangsaan Malaysia _xDissertations _962865
650		0	_aSilicon _xEtching
650		0	_aPlasma etching
650		0	_aDissertations, Academic _zMalaysia _962866
907			_a.b1347053x _b2021-05-28 _c2019-11-12
942			_c3 _n0 _kTK7871.15.S55M55 2004 tesis
914			_avtls003299093
990			_ahe/nms
991			_aFakulti Kejuruteraan
998			_at _b2005-01-01 _cm _dx _fmay _gmy _y0 _z.b1347053x
999			_c346283 _d346283