TY - BOOK AU - Siti Aisyah Abd. Aziz, TI - Penghasilan filem nipis a-CNx daripada pemendapan wap kimia secara peningkatan plasma untuk sensor kelembapan PY - 2018/// KW - Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Dissertations KW - Dissertations, Academic KW - Malaysia KW - Thin films KW - Vapor-plating KW - Humidity KW - Control N1 - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2018; Rujukan : mukasurat 120-130 ER -