TY  - GEN
AU  - Burhanuddin Yeop Majlis
TI  - MEMS devices and sensing microsstructure
PY  - 2004///
CY  - Bangi,Selangor
PB  - Pusat pengurusan penyelidikan UKM
N1  - PTSL Koleksi Asia Tenggara : (Pages 121-129), (Call Number : LG 173.K82S423 2004 j.1)
ER  -