TY  - BOOK
AU  - Mohd Ismahadi Syono
TI  - Pembangunan akselerometer berdasarkan proses polisilikon epitaksi tebal
PY  - 2010///
CY  - Bangi, Selangor
PB  - Perpustakaan Tun Seri Lanang, Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Dissertations
KW  - Dissertations, Academic
KW  - Malaysia
KW  - Accelerometers
KW  - Microelectromechanical systems
KW  - Thick epitaxial polysilicon
N1  - Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2008; Rujukan : p. [153]-156
ER  -