Mohd Ismahadi Syono <br/><br/>
Pembangunan akselerometer berdasarkan proses polisilikon epitaksi tebal  [microform]/ 
Mohd Ismahadi Syono 
 - Bangi, Selangor :  Perpustakaan Tun Seri Lanang, Universiti Kebangsaan Malaysia  2010 
 - 3 microfiches ;  11 x 15cm. 
<br/><br/>Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2008 
<br/><br/>Rujukan : p. [153]-156 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Dissertations, Academic--Malaysia<br/>Accelerometers<br/>Microelectromechanical systems
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Thick epitaxial polysilicon