TY - BOOK AU - Ahmad Alabqari Ma'radzi TI - Akselerometer MEMs kapasitif dengan daya pengimbang elektrostatik untuk kegunaan G rendah PY - 2007/// CY - Bangi PB - Perpustakaan Tun Seri Lanang KW - Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Dissertations KW - Dissertations, Academic KW - Malaysia KW - Microelectromechanical systems N1 - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2007; Rujukan : p. [201]-210 ER -