Pembangunan akselerometer berdasarkan proses polisilikon epitaksi tebal - Mohd Ismahadi Syono (Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, 2008)
Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2008
Rujukan : p. [153]-156
Keywords: Universiti Kebangsaan Malaysia -- Dissertations; Dissertations, Academic -- Malaysia; Accelerometers; Microelectromechanical systems; Thick epitaxial polysilicon