Mohd Ismahadi Syono <br/><br/>
Pembangunan akselerometer berdasarkan proses polisilikon epitaksi tebal / 
Mohd Ismahadi Syono 
 - Bangi :  Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,  2008 
 - xvi, 187 p. :  ill., photographs, charts ;  30 cm. 
<br/><br/>Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2008 
<br/><br/>Rujukan : p. [153]-156 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Dissertations, Academic--Malaysia<br/>Accelerometers<br/>Microelectromechanical systems
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Thick epitaxial polysilicon