TY  - BOOK
AU  - Ahmad Alabqari Ma'radzi.
TI  - Akselerometer MEMS kapasitif dengan daya pengimbang elektrostatik untuk kegunaan G rendah
PY  - 2007///
CY  - Bangi, Selangor
PB  - Institut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik, Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Dissertations
KW  - Dissertations, Academic
KW  - Malaysia
KW  - Microelectromechanical systems
N1  - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2007; Rujukan : p. [201]-210
ER  -