TY - BOOK AU - Hoh,Huey Jiun TI - Kesan penipisan wafer terhadap keutuhan mekanikal wafer silikon dan proses pemotongan PY - 2006/// CY - Bangi PB - Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Dissertations KW - Dissertations, Academic KW - Malaysia KW - Semiconductor wafers KW - Design and construction KW - Semiconductor KW - Integrated circuits N1 - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2006; Rujukan : p. 114 - 122 ER -