Kesan penipisan wafer terhadap keutuhan mekanikal wafer silikon dan proses pemotongan - Hoh, Huey Jiun (Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, 2006)
Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2006
Rujukan : p. 114 - 122
Keywords: Universiti Kebangsaan Malaysia -- Dissertations; Dissertations, Academic -- Malaysia; Semiconductor wafers -- Design and construction; Semiconductor; Integrated circuits