Kesan penipisan wafer terhadap keutuhan mekanikal wafer silikon dan proses pemotongan /
Hoh Huey Jiun
- Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, 2006
- xvi, 122 p. : ill. ; 30 cm.
Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2006
Rujukan : p. 114 - 122
Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations
Dissertations, Academic--Malaysia Semiconductor wafers--Design and construction Semiconductor Integrated circuits