TY - BOOK AU - Mimiwaty Mohd Noor TI - Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon PY - 2005/// CY - Bangi PB - Perpustakaan Tun Seri Lanang KW - Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Dissertations KW - Silicon KW - Etching KW - Plasma etching KW - Dissertations, Academic KW - Malaysia N1 - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004 ER -