TY  - BOOK
AU  - Sakina Farikhullah Khan
TI  - Pencirian SiO2 untuk fabrikasi transistor MOS
PY  - 1997///
CY  - Bangi
PB  - Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan
KW  - Silicon oxide
KW  - Oxidation
N1  - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 1997; References: p. 113-117
ER  -