Sakina Farikhullah Khan Pencirian SiO2 untuk fabrikasi transistor MOS / Sakina Farikhullah Khan - Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan, 1997 - 146 p. : ill. ; 30 cm. Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 1997 References: p. 113-117 Subjects--Topical Terms: Silicon oxideOxidation