Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon /
Mimiwaty Mohd Noor
Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon / Mimiwaty bt Mohd Noor - Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004 - xv, 161 p. : ill. ; 30 cm
Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004
Rujukan : p. [147]-150
Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations
Silicon--Etching
Plasma etching
Dissertations, Academic--Malaysia
Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon / Mimiwaty bt Mohd Noor - Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004 - xv, 161 p. : ill. ; 30 cm
Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004
Rujukan : p. [147]-150
Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations
Silicon--Etching
Plasma etching
Dissertations, Academic--Malaysia
